依据GB50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》

12.3.4 洁净厂房内火灾探测器的设置应符合下列规定：

　　1 洁净生产区、技术夹层、机房、站房等均应设置火灾探测器，其中洁净生产区、技术夹层应设置智能型探测器；

　　2 当洁净厂房防火分区面积超过现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的规定时或顶部安装点式探测器不能满足现行规范设计要求时，在洁净室(区)内净化空调系统混入新风前的回风气流中应设置灵敏度严于0.01% obs/m的早期烟雾报警探测器（编者注：即吸气式感烟火灾探测器）；

　　3 硅烷储存、分配间(区)，应设置红外线-紫外线火焰探测器；

　　4 洁净生产区、走道和技术夹层(不包括不通行的技术夹层)应设置手动报警按钮和声光报警装置。

　　【条文说明】12.3.4 制定本条的依据是：

　　1电子工业洁净厂房内火灾探测器选择时，应充分考虑洁净室(区)的环境条件及房间构造特点，如高度、面积、空气流向、流速、有无对火灾探测器的干扰等，以及火灾探测器的特性和技术指标。选用智能型探测器可比较可靠地探测火灾。

　　2在一些芯片制造和第五代、六代以上液晶显示器生产用洁净厂房，洁净生产区的面积较大，防火分区的面积大大超过现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016规定的最大容许建筑面积，为强化消防设计技术措施，本条明确规定在洁净室(区)内净化空调系统混入新风前的回风气流中，应设置高灵敏度的早期烟雾报警探测器，把着眼点放在不可见烟雾的探测，尽早发现火情，把火灾消灭在萌发阶段，为避免事态扩大争取到更多的宝贵时间。据了解，近年来这类洁净厂房均在回风气流中安装了高灵敏度早期报警火灾探测器，虽然费用较高和安装、维护要求严格，但仍然得到了用户和消防部门的认可。

　　3在室温下，硅烷是一种在空气中可以自燃的气体，硅烷一旦泄漏，很快燃烧，不产生烟雾。而红外—紫外线(UV-IR)双重扫描的火焰探测器，对硅烷产生的火灾反应速度最快。故规定硅烷储存、分配间(区)应采用火焰探测器。

　　4洁净室(区)的上下技术夹层、静压箱有时是有操作人员在现场的，当这些区域发生火灾时，为了第一时间发出警报，便于人员疏散，应设置手动报警按钮和声光报警装置。

12.3.6 洁净厂房内下列场所应设置气体泄漏报警装置：

　　1 易燃、易爆、有毒气体的储存分配间(区)；

　　2 易燃、易爆、有毒气体的气瓶柜和分配阀门箱内；

　　3 工艺设备的气体分配箱和排风管内。

　　【条文说明】1在一些电子产品生产过程中使用品种多样的易燃、易爆、有毒气体，如SiH4、SiH2Cl2、NH3、C4F6，AsH3、PH3、Cl2等。这些气体一旦泄漏，将可能产生火灾或爆炸、或危及操作人员安全、或对设备造成损害。因此，必须设置有效、安全、可靠的气体探测和控制系统，避免、防止因气体泄漏造成事故。气体探测器按原理分，有电化学式、化学纸带式、红外技术和固态金属氧化物技术等；按采样方式分，有泵吸式和扩散式。应根据所监测的气体物化特性和使用环境特点合理选用。

　　2因在各种气体的输送管道和特种气体的气瓶柜、分配阀门箱内的气瓶阀、减压阀、分配阀、切换阀等的连接处容易产生气体泄漏，在特气柜更换气瓶时因操作不当阀门未关紧，管道接口、阀门受腐蚀或连接不牢固等原因，易产生气体泄漏。因此，在这些易发生泄漏的场所，沿程管道的阀门或接头易泄漏处和气瓶柜、分配阀门箱内均应设置检测点。气瓶柜、分配阀门箱均设有强制排风系统，如有气体泄漏时，泄漏的气体大部分被吸入到排风管内，所以应将采样点设置在排风管口处。

　　3气体泄漏报警装置报警后，为了及时切断相应气体的气源，防止继续泄漏，造成着火、爆炸事故，应自动联锁相应气体输送管道的进气阀门。

　　4美国消防协会发布的NFPA 318《洁净室消防标准》，第6.6.1条规定：易燃或有毒气体在使用中，应设置于配有排气通风的柜内，柜内应设置气体监测报警和自动切断气体供应设施。第6.6.3条规定：在可能有易燃、有毒气体泄漏的场所、阀门或装配件或接头处，应设置气体报警和排气通风设施，一旦报警时，应能切断气源。第6.6.5条规定：对可能发生易燃气体泄漏的场所，设置爆炸下限20％的报警装置。以上各条要求是制定本条规定的主要依据。

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